Словарь

Чистое помещение (Clean room)

Синонимы:

• Чистая комната - Clean room

Описание:

Помещение с контролируемой концентрацией взвещенных в воздухе частиц. Также в чистых помещениях может обеспечиваться определенный климат.

В настоящее время требования к чистым помещениям определяются стандартом ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002 (ISO 14644-1) Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1: Классификация чистоты воздуха, а также стандартами США 209E и 209D. До 1 января 2005 года применялся российский стандарт ГОСТ Р 50766-95 Помещения чистые. Классификация. Методы аттестации. Основные требования, ныне замененный ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002.

Согласно ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002 чистое помещение определяется как "помещение, в котором контролируется концентрация взвешенных в воздухе частиц, построенное и используемое так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри помещения, и позволяющее, по мере необходимости, контролировать другие параметры, например, температуру, влажность и давление".

В производстве электроники в чистых помещениях выполняются процессы, критичные к наличию частиц в воздухе или их осаждению на изделия и заготовки, например, полупроводниковое произвосдтво, монтаж бескорпусных микросхем (кристаллов), производство коммутационных изделий повышенной точности и т.п.

Согласно стандарту ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002 чистое помещение характеризуется классом чистоты, определяющим допустимую концентрацию взвешенных частиц определенного размера. Маскимально допустимые концентрации для различных классов для некоторых размеров частиц приведены в таблице:

Класс	Концентрация частиц (шт/м3) с размерами, равными или большими (мкм):
	0,1	0,2	0,3	0,5	1,0	5,0
1	10	2	-	-	-	-
2	100	24	10	4	-	-
3	1 000	237	102	35	8	-
4	10 000	2 370	1 020	352	83	-
5	100 000	23 700	10 200	3 520	832	29
6	1 000 000	237 000	102 000	35 200	8 320	293
7	-	-	-	352 000	83 200	2 930
8	-	-	-	3 520 000	832 000	29 300
9	-	-	-	35 200 000	8 320 000	293 000

В таблице ниже приведены соответствия классов чистоты по различным стандартам:

ГОСТ Р ИСО 14644-1-2002 (ISO 14644-1)	ГОСТ Р 50766-95	Стандарт США 209Е	Стандарт США 209D
1	Р 1	-	-
2	Р 2	-	-
3	Р3 (1)	М 1.5	1
4	Р4 (10)	М 2.5	10
5	Р 5 (100)	М 3.5	100
6	Р 6 (1000)	М 4.5	1000
7	Р 7 (10000)	М 5.5	10000
8	Р 8 (100000)	М 6.5	100000
9	Р9 (1000000)	-	-

Источник таблицы: www.gmpua.com