Новое оборудование и материалы

Турбомолекулярный вакуумный насос с камерой большой емкости от компании Edwards

Изображение с сайта www.globalsmt.net

Компания Edwards представила установку STP-iXA4506 — турбомолекулярный вакуумный насос (ТМН), предназначенный обеспечить значительную экономию для небольших производителей полупроводниковых микросхем, дисплеев с плоским экраном, светодиодов и солнечных панелей.

В состав установки  STP-iXA4506 входит ротор новейшей конструкции и надежный контроллер серии iXA, которые обеспечивают максимальный поток газа и, как следствие, минимизируют количество насосов, необходимых для реализации высокопроизводительных техпроцессов. Встроенный контроллер исключает необходимость покупки и подключения вспомогательных кабелей и отдельной стойки с контроллером. Как следствие, установка обладает компактными размерами и отличается легкой и быстрой процедурой ее подготовки для различных применений. Применение концепции магнитной левитации турбонасосов обеспечивает отсутствие механических держателей, что практически исключает затраты на периодическое обслуживание.

Высокая скорость откачки (4 300 л/с N₂) и производительность создания вакуума (до 4 300 см³/мин N2) в сочетании с возможнстью откачки газов с малой и большой молекулярной массой делают установку STP-iXA4506 хорошим вариантом для реализации различных применений крупносерийной обработки крупногабаритных изделий. При необходимости в установку может быть встроена система управления температурой для снижения накопления отложений и твердых частиц, образующихся в результате техпроцесса.

По материалам www.globalsmt.net cо ссылкой на www.edwardsvacuum.com.