Новое оборудование и материалы

Система ультразвуковой инспекции пластин МЭМС от компании Sonoscan

Изображение с сайта www.globalsmt.net

Компания Sonoscan анонсировала полностью автоматическую систему AW322 200™ для выполнения ультразвуковой инспекции пластин МЭМС. Основанная на разработанной компанией Sonoscan технологии C-SAM® система AW322 200™ позволяет визуализировать и идентифицировать внутренние дефекты МЭМС-пластин — зазоры до 5 мкм, что необходимо для обнаружения дефектов присоединения герметика к пластене, пустот и других дефектов в слое уплотняющего материала, герметизирующего полости МЭМС-пластин.

Особенности системы AW322 200™:

• Два отделения загрузки, два предметных стола и несколько преобразователей позволяют выполнять инспекцию двух 8-дюймовых пластин МЭМС одновременно (в серии AW также представлены модели, позволяющие работать с пластинами диаметром 100—300 мм).
• Роботизированная станция Robotic Handling Station, подключаемая по протоколу SECS/GEM, осуществляет операции совмещения и сушки.
• Технология Waterfall™ обеспечивает минимизацию расхода воды при сканировании.
• Усовершенствованное ПО разработки компании Sonoscan производит анализ результатов сканирования и обеспечивает точное определение «брак/не брак» по критериям пользователя.

В ходе работы системы AW322 200™ роботизированная станция Robotic Handling Station производит подсчет и выгрузку пластин из держателей, размещает пластину в системе для сканирования. Преобразователи перемещаются со скоростью более 1 м/с, излучая ультразвуковые импульсы на частоте до 230 МГц и получая тысячи отраженных сигналов эха в секунду. Преобразователи, а также излучатель и приемник, работающие в полосе частот 500 МГц, разработаны и произведены компанией Sonoscan.

По материалам www.globalsmt.net со ссылкой на www.sonoscan.com.