Новое оборудование и материалы

Новая линейка установок для центробежной отмывки и сушки полупроводниковых пластин — от компании ClassOne Technology

Изображение с сайта classone.com

Компания ClassOne Technology выпустила новую линейку Trident™ систем для центробежной отмывки и сушки полупроводниковых пластин (Spin Rinse Dryer, SRD). В установках линейки Trident применяется инновационная технология создания непрерывного и плотного потока промывочной воды (Deluge technology), которая также позволяет исключить затраты по замене распыляющих насадок. Все системы управляются ПЛК, оснащены цветным сенсорным дисплеем, а также бесконтактными нагревателями азота, нагревателями бака полного охвата, бесщеточными двигателями непосредственного привода, уплотнениями гидромотора создания разрежения. Пластиковые детали соответствуют стандарту FM4910 по огнестойкости.

В линейку Trident вошли системы в четырех конфигурациях — настольные, напольные, однокамерные и двухкамерные. Оборудование позволяет выполнять пакетную обработку до 50 пластин диаметром от 75 до 300 мм.

По материалам classone.com.