Новое оборудование и материалы

Автоматическая установка для совмещения и экспонирования пластин/подложек — от компании Neutronix Quintel

Изображения с сайта www.sovtest.ru

Компания Neutronix Quintel недавно анонсировала новую модель автоматической установки для совмещения и экспонирования пластин/подложек — NXQ8012.

Данная установка стала логическим продолжением модельного ряда компании и ориентирована на всё возрастающий спрос на оборудование для работы с пластинами диаметром до 300 мм. Установку выгодно отличают наличие высокоточной системы совмещения, мощной оптики и самого современного роботизированного решения для перемещения пластин от фирмы Milara. Как и ранее зарекомендовавшие себя модели компании, новая установка также обеспечит своим заказчикам высокую надёжность и производительность при конкурентной стоимости.

Одной из уникальных особенностей новой модели является функция Quadcam, обеспечивающая более эффективное использование системы совмещения за счёт отсутствия необходимости перефокусировки при смене увеличения. Теперь процесс экспонирования и переналадки занимает ещё меньше времени.

По традиции, установка может оснащаться УФ-модулями с различным перекрытием УФ-спектра, от стандартного 350—450 нм до Deep UV (220—280 нм), модулем совмещения по обратной стороне, а также держателями пластин/подложек и масок различных форм и размеров.

Информация с сайта www.sovtest.ru.