Новое оборудование и материалы

Новая технология наноимпринтной литографии от компании EVG

Изображение с сайта www.ostec-group.ru

SmartNIL™ — технология мягкой наноимпринтной литографии (НИЛ) на большой площади для массового производства — обеспечивает непревзойденные показатели производительности и стоимости владения.

Компания EVG, ведущий поставщик оборудования для сварки пластин и литографии в области МЭМС, нанотехнологий и полупроводниковых приборов, представила технологию наноимпринтной литографии на большой площади SmartNIL™. Технология SmartNIL™ доступна на всех платформах EVG, предназначенных для НИЛ, включая установки совмещения, а также системы EVG 720 и совершенно новую EVG 7200.

Данная технология представляет собой решение для малозатратного массового производства таких устройств, как:

• устройства фотоники: светодиоды, лазеры и солнечные батареи;
• микромассивы (ДНК-микрочипы) и наноустройства для медицинских нужд и биоинженерии;
• носители информации, включая устройства энергонезависимой памяти нового поколения.

Полный текст статьи.

Информация с сайта www.ostec-group.ru.