Новое оборудование и материалы

Новый метод испытаний тонких полупроводниковых кристаллов по стандарту SEMI G96-1014 с применением установки для испытаний соединений Nordson DAGE 4000Plus

Изображение с сайта www.nordson.com

Подразделение Nordson DAGE компании Nordson Corporation продолжает отвечать на вызовы в области испытаний микроматериалов и представляет новый способ оценки прочности полупроводниковых кристаллов методом кантилеверного изгиба. Этот метод испытаний может применяться для полупроводниковых кристаллов толщиной менее 50 мкм, когда невозможно применить метод трехточечного изгиба.

Полупроводниковые кристаллы толщиной менее 50 мкм имеют свойство быть очень гибкими — фактически, настолько, что становится практически невозможным приложение нагрузки для проведения испытаний. При кантилеверном изгибе с применением установки 4000Plus к полупроводниковому кристаллу прикладывается вертикальное усилие и прецизионно управляемое возвратное движение, что в сочетании со специальным механизмом фиксации и ПО обеспечивает изгиб полупроводникового кристалла на точно заданную высоту (нагрузочную высоту) относительно нулевого уровня. Данные метод позволяет вычислять сопротивление изгибу в мегапаскалях в момент разлома.

Метод испытаний кантилеверным изгибом при помощи установки 4000Plus — результат многих месяцев совместной работы с рабочей группой SEMI (Япония).

По материалам www.nordson.com.