Новое оборудование и материалы

Система дозирования, оптимизированная для производства 3D-микросхем и МЭМС, — от компании Entegris

Изображение с сайта www.globalsmt.net

Компания Entegris объявляет о расширении линейки систем IntelliGen® с технологией двухступенчатого дозирования, применяемых при производстве микроэлектроники. Система IntelliGen MV обладает улучшенными характеристиками, по сравнению с проверенными системами дозирования IntelliGen Mini и HV. Система IntelliGen MV оптимизирована для производства трехмерных микросхем и МЭМС, обеспечивая высокую степень очистки и воспроизводимое дозирование жидкостей со средней вязкостью. В системе IntelliGen MV реализованы несколько новых функций диагностики и детектирования, предназначенных для сокращения количества дефектов, упрощения программирования и улучшения подготовки фильтра.

Компактная конструкция систем IntelliGen MV позволяет производителям устанавливать несколько систем дозирования в одно направляющее устройство, наносить несколько составов одновременно и доводить до максимального уровня характеристики фильтрации даже при дозировании самых чувствительных фотоматериалов с динамической вязкостью от 100 до 300 сантипуаз.

По материалам www.globalsmt.net со ссылкой на www.entegris.com.