Новое оборудование и материалы

Поставлена первая высокоскоростная установка тестирования с летающим щупом S3 для подложек со структурами размером до 10 мкм от компании atg Luther & Maelzer

Изображение с сайта www.globalsmt.net

Компания atg Luther & Maelzer поставила первую систему тестирования с летающим щупом для подложек S3 одному из крупнейших клиентов из Кореи. Установка S3 – первая система новой продуктовой линейки компании. Она предназначена для тестирования подложек, обеспечивающих межсоединения между полупроводниковым кристаллом и печатной платой.

Тестовые панели состоят из 50 – 100 отдельных подложек, имеют размеры порядка 250 х 80 мм и содержат около 1000 – 2000 контрольных точек. Таким образом, для каждой панели необходимо выполнить контактирование со 100 тыс. площадок. Со стороны полупроводника требуется обеспечить надежное контактирование с элементами размером вплоть до 10 мкм.

В установке S3 используется четыре свободно перемещающиеся головки, что позволяет достичь скорости тестирования 100 измерений в секунду. При тестировании выполняется касание с верхней стороны и измерение емкости относительно стола.

Для позиционирования используется цветная камера 5 Мпикс. с разрешением 1,2 мкм, что обеспечивает точность +/– 1,5 мкм.

Усилие прижима микроиглы регулируется в пределах от 0,3 до 2,5 g.

Максимальная рабочая область тестирования составляет 310 х 300 мм.

По информации с сайта www.globalsmt.net