Новое оборудование и материалы

Компания Nordson MARCH представляет системы плазменной обработки серии SPHERE

Компания Nordson MARCH представляет новые плазменные системы серии SPHERE™, предназначенные для задач 3D-корпусирования и обработки на уровне пластины. Новая серия, основанная на серии TRAK™ компании Nordson MARCH, включает системы плазменной обработки TrophoSPHERE™ и StratoSPHERE™.

Системы выполняют озоление, плазменное удаление фоторезиста/полимера, травление диэлектриков, выполнение столбиковых выводов на пластине, удаление органических загрязнений и снятие напряжений в пластинах. Обе системы поддерживают автоматизированное манипулирование и обработку круглых и квадратных пластин и способны обрабатывать тонкие пластины с носителем или без него в зависимости от их толщины.

Модели серии SPHERE отличаются размерами камер. Наименьшей камерой обладает система TropoSPHERE. Она предназначена для высокопроизводительной обработки полупроводниковых пластин и прочих плоских подложек диаметром от 76 мм (3") до 200 мм (8"), удерживаемых в открытых кассетах. Система StratoSPHERE способна обрабатывать пластины диаметром до 300 мм (12"). В обеих системах применяются камеры запатентованной конструкции, обеспечивающие отличную равномерность травления и повторяемость процесса. Система управления позволяет применять короткие циклы плазменной обработки, обеспечивая максимальную производительность и минимальную стоимость владения.

Компания Nordson MARCH примет участие в выставке SEMICON West, которая пройдет с 14 по 16 июля в Сан-Франциско, США. На стенде компании #5743 можно будет обсудить с ее специалистами конкретные области применения.

По информации с сайта www.nordson.com