Новое оборудование и материалы

Система HERCULES® NIL от компании EV Group позволяет применять наноимпринтную литографию в крупносерийном производстве

Компания EV Group (EVG) анонсирует полностью интегрированную систему обработки HERCULES® NIL, сочетающую в одной платформе операции очистки, нанесения резиста и его термообработки перед экспонированием с проприетарным процессом компании EVG наноимпринтной литографии с большой площадью обработки SmartNIL™. Обеспечивая лидирующую в отрасли производительность, система HERCULES NIL представляет собой законченное специализированное решение для УФ-наноимпринтной литографии, отлично подходящее для крупносерийного производства перспективных фотонных изделий. Это достигается благодаря созданию структур размером от десятков нанометров до нескольких микрометров, которые изменяют или улучшают оптические свойства поверхностей и устройств, таких как противоотражающие слои, цветные и поляризационные фильтры, световодные пластины, сапфировые подложки с рисунком, применяемые в производстве светодиодов, и проч. Другие быстроразвивающиеся области применения наноимпринтной литографии включают МЭМС, НЭМС, биологические и наноэлектронные устройства.

Система HERCULES NIL обладает уникальной производительностью: 40 пластин в час (для 200-мм пластин). Система построена на конфигурируемой модульной платформе, позволяющей работать с множеством материалов для импринтной литографии и размеров структур. Полностью интегрированное решение также снижает риск загрязнения заготовок.

Новая система HERCULES NIL от компании EVG доступна для заказа. Эти системы уже работают на крупносерийных производствах ведущих производителей фотонных приборов.

По информации с сайта www.evgroup.com