Новое оборудование и материалы

Компания CyberOptics представляет новые мультидатчики Auto Multi Sensors (AMS) в форм-факторах WaferSense® и ReticleSense®

CyberOptics® Corporation, разработчик и поставщик высокоточных решений в области  технологий 3D-распознавания, объявляет о выпуске первого мультидатчика, объединяющего в себе измерения выравнивания, вибраций и влажности. Датчик предлагается в форм-факторах WaferSense® или ReticleSense®.

Датчики предназначены для проведения измерений на предприятиях по производству полупроводниковых пластин. Объединение нескольких функций позволит уменьшить вес и габариты измерительных  инструментов, где будут применяться такие датчики.

Добавление функции измерения относительной влажности крайне важно для многих процессов на полупроводниковом производстве – в частности, для отслеживания процессов окисления на пластине и управления электростатическими разрядами.

Новые датчики могут применяться для полупроводниковых пластин различных размеров, включая 150, 200, 300 и 450 мм.

Более подробная информация о линейке решений WaferSense® и ReticleSense® – на сайте производителя, компании CyberOptics: www.cyberoptics.com.

По материалам cyberoptics.com (pdf).