Новости практической технологии
12 августа 2015
Компания AMTC применяет технологию ZEISS CDC/RegC для улучшения характеристик фотошаблонов
Чтобы надежно обеспечивать необходимые характеристики самых передовых фотошаблонов, компания Advanced Mask Technology Center (AMTC), совместное предприятие GLOBALFOUNDRIES и Toppan Photomasks, установила на своем производстве в Дрездене систему ZEISS CDC/RegC для коррекции фотошаблонов от компании ZEISS.
Устройство ZEISS CDC/RegC Combo улучшает равномерность минимальных элементов и совмещения по всей поверхности фотошаблонов с высокой повторяемостью и точностью за счет применения технологии фемтосекундных лазеров. С помощью специального алгоритма и регулируемой лазерной системы импульсы лазера формируют группы точек в стеклянном материале с настраиваемыми оптическими и механическими свойствами. Это позволяет производителям фотошаблонов помогать производителям микросхем в достижении самых высоких характеристик равномерности минимальных элементов и совмещения.
Сайт компании AMTC: www.amtc-dresden.com
Сайт компании ZEISS: www.zeiss.com
По информации с сайта www.zeiss.com
|