Новое оборудование и материалы

Конфигурации систем плазменной обработки StratoSPHERE от компании Nordson MARCH теперь могут насчитывать до 6 камер

Компания Nordson MARCH, подразделение компании Nordson, сообщает, что ее системы плазменной обработки серии StratoSPHERE™, предназначенные для задач 3D-корпусирования и корпусирования на уровне пластины, теперь могут иметь конфигурацию с двумя, четырьмя и даже шестью камерами, что позволяет повысить производительность и гибкость. Системы плазменной обработки SPHERE™ выполняют подготовку поверхностей и удаление загрязнений для удаления фоторезиста, озоления, формирования столбиковых выводов, удаления органических загрязнений и снятия напряжений в пластинах в процессе изготовления полупроводниковых изделий, в особенности, для таких изделий, как 2,5D и 3D изделия на уровне пластины с отводом наружу (FOWLP).

Запатентованная конструкция плазменной камеры системы StratoSPHERE обеспечивает исключительную равномерность и повторяемость процесса озоления. Система может работать с пластинами диаметром до 300 мм (12") и поддерживает автоматизированное манипулирование и обработку круглых и квадратных пластин, а также способна обрабатывать тонкие пластины с носителем или без него в зависимости от их толщины.

Технические эксперты Nordson MARCH будут присутствовать на стенде #450 на выставке SEMICON Taiwan 2015, которая пройдет 2-4 сентября в г. Тайбей, Тайвань.

По информации с сайта www.nordson.com