Новое оборудование и материалы

Новая система измерений регистрирует толщину кремния посредством всего лишь одного датчика

Фото с сайта www.global-electronics.net

Новая система CHRocodile IT от компании Precitec Optronik предлагает очень простой и в тоже время высокоточный метод измерения толщины слоя для полупроводниковых пластин и кристаллов. Она в состоянии проводить бесконтактное сканирование кремния при помощи одной точки замера и может точно измерять толщину полупроводниковых пластин до 1 мм.

Основой этого нового неразрушающего метода измерений является интерферометрический датчик, использующий, в отличие от обычно применяемого белого света, ИК-излучение.

Преимущество: одна точка замера с очень ярким светом позволяет ускорить процесс измерения в тех же условиях в пять раз, а диапазон измерений – в 10 раз (воздушный зазор вплоть до 3,5 мм) по сравнению с методом, использующим белый свет. Это позволяет интегрировать измерительный модуль непосредственно в техпроцесс производства полупроводниковых пластин, благодаря его надежной и простой конструкции. По словам производителя, CHRocodile IT, конечно, также хорошо подходит для экономичного и одновременно высокоточного измерения толщин слоев в лабораторных условиях.

Новая система не только регистрирует толщину слоя кремния с высокой точностью, но и выполняет то же самое с прозрачными пленками толщиной до 2,5 мм. Записанные значения измеренных толщин доступны пользователю для проведения мониторинга и контроля техпроцесса, а также для документирования в Excel.

Таким образом, CHRocodile IT обеспечивает следующие значительные преимущества в производстве пластин и пленок:

• высокоточное измерение толщины при необходимости проведения его всего лишь с одной стороны;
• бесконтактный и неразрушающий процесс измерения;
• в 5 раз более яркий источник света, что ускоряет процесс измерений в 5 раз;
• в 10 раз увеличенный диапазон измерений (до 3,5 мм) по сравнению с методом, использующим белый свет;
• простая интеграция в производственный процесс;
• небольшие размеры и экономичность.

Для пользователя это означает:

• поддержание высоких стандартов качества в производстве полупроводниковых пластин и пленок;
• возможность избежать возврата некачественной продукции;
• быстрый возврат вложенных в оборудование средств.

Информация с сайта www.global-electronics.net.