Новое оборудование и материалы

Компания EV Group масштабирует наноимпринтную литографию для изготовления дисплеев

Компания EV Group (EVG) представила систему EVG®7200 LA SmartNIL™ для изготовления дисплеев и других задач, в которых требуются подложки с большой площадью. Данная автоматическая система УФ-наноимпринтной литографии, в которой эффективно используется проприетарная технология SmartNIL компании EVG, позволяет экономично выполнять формирование наноразмерных рисунков при крупносерийном производстве. Система EVG7200 LA разработана специально для изготовления панелей дисплеев Gen 2 (370 мм x 470 мм), но может также решать широкий круг задач в области биотехнологии, фотоники и оптики.

Наноимпринтная литография – очень экономичный метод формирования наноразмерных рисунков на больших площадях, поскольку она не имеет ограничений, связанных со сложной оптикой, которая требуется для оптической литографии, и поскольку она способна обеспечивать оптимальную точность воспроизведения рисунка для структур крайне малого (суб-100-нм) размера. Компания EVG, обладающая наибольшей базой установленных систем наноимпринтной литографии в производстве, постоянно расширяла возможности своих решений для наноимпринтной литографии, чтобы отвечать новым возрастающим потребностям рынка и требованиям технологии.

Новейшее дополнение к портфолио компании EVG по наноимпринтной литографии – система EVG7200 LA – поднимает эту технологию на качественно новый уровень, позволяя получать высококачественные наноразмерные рисунки на подложках размера панели. В результате новые структуры, основанные на нанотехнологии, которые могут повысить характеристики изделий, теперь можно использовать в производстве дисплеев и других задачах, в которых требуются большие площади.

В системе EVG7200 LA применяется технология SmartNIL компании EVG, которая в сочетании с универсальной технологией мягкого тиснения позволяет приспосабливаться к неровным и шероховатым поверхностям, обеспечивая уникальную конформность выполнения отпечатка (до 40 нм) с высокой равномерностью и точностью воспроизведения рисунка. Эта возможность особенно важна для успешного изготовления проволочных поляризаторов, где требуется перенос структуры в металлические слои и где размеры минимальных элементов оказываются меньше 100 нм. Кроме того, технология изготовления мягких штампов SmartNIL в сочетании с автоматическим отделением с малым усилием увеличивает срок службы штампов, что приводит к существенной экономии для потребителей.

Полностью с текстом новости можно ознакомиться на сайте компании EVG.

По информации с сайта www.evgroup.com