Новое оборудование и материалы

Компания SUSS MicroTec представляет установку совмещения и экспонирования для создания 3D-межсоединений на 300-мм пластинах

Мюнхен, Германия

Фото с сайта www.suss.com

На выставке Semicon West 2008 компания SUSS MicroTec представила второе поколение установки MA300 для совмещения и экспонирования, которая специально предназначена для создания 3D-межсоединений в таких задачах, как шатбелирование кристаллов и изготовление трехмерных датчиков изображений. Для 3D-приложений от потребительской портативной электроники последнего поколения до суперкомпьютеров требуется высокая точность совмещения.

Новая 3D-платформа осуществляет совмещение с нижней стороны и ИК-совмещение для процессов литографии при производстве трехмерных компонентов, тем самым предлагая экономически эффективную систему, отвечающую наиболее требовательным запросам со стороны будущих задач в части толстых слоев резиста, а также удерживая низкий уровень стоимости по сравнению с решениями по литографии на основе 1Х-степперов.

Совмещение с нижней стороны позволяет системе SUSS MA300 обрабатывать пластины с двусторонним расположением структур, опция ИК-совмещения дает возможность работать с прозрачными только в ИК-диапазоне материалами, такими, как адгезивы, в частности, при работе с тонкими полупроводниковыми пластинами или при выполнении герметизации. Оба метода совмещения стали особенно важными для создания трехмерных межсоединений, таких, как маски для травления при выполнении «связей сквозь кремний» (through silicon via, TSV), нанесение сетки линий на пластину и обратные перераспределяющие слои, а также для операций создания столбиковых выводов.

Рольф Вольф (Rolf Wolf), генеральный директор литографического подразделения компании SUSS MicroTec, отметил: «Уникальные усовершенствования трехмерной технологии в установке совмещения и экспонирования MA300 обеспечивают наших заказчиков лучшим в своем классе оборудованием и дают им возможность решать все более сложные задачи создания 3D-межсоединений».

Информация с сайта www.suss.com.