Новое оборудование и материалы

Компания CyberOptics продемонстрирует на выставке SEMICON Taiwan возможности определения крупных частиц в датчиках взвешенных в воздухе частиц нового поколения

Компания CyberOptics® Corporation сообщает, что она покажет свою технологию датчиков взвешенных в воздухе частиц нового поколения (APS2), которая обладает возможностью определения крупных частиц. Датчики взвешенных в воздухе частиц как WaferSense®, так и ReticleSense® (APS2, APSR и APSRQ) способны определять количественное содержание и мелких, и крупных частиц. Новая функция детектирования и определения количественного содержания крупных частиц перекрывает ряд размеров, разделенный на четыре интервала для частиц крупнее 2, 5, 10 и 30 мкм. Изделия будут показаны на стенде #200, 4-й этаж на выставке SEMICON Taiwan, которая пройдет в г. Тайбэй с 7 по 9 сентября 2016 года.

Портфолио APS2 компании CyberOptics ускоряет настройку оборудования и повышает выход годных в долгосрочной перспективе на полупроводниковых производствах благодаря беспроводному мониторингу взвешенных в воздухе частиц в реальном времени. Новое поколение APS2 предлагает еще бóльшую универсальность, обладая лидирующими в отрасли точностью и чувствительностью, высоко оцениваемыми на полупроводниковых производствах и в OEM-компаниях, занимающихся оборудованием, по всему миру.

Также на выставке SEMICON Taiwan компания CyberOptics покажет свои датчики WaferSense и ReticleSense Auto Multi (AMS/AMSR) для измерения выравнивания, вибрации и относительной влажности в рамках одного беспроводного прибора реального времени.

Более подробная информация о линейке WaferSense и ReticleSense приводится в полном тексте новости компании CyberOptics.

По информации с сайта cyberoptics.com