Новое оборудование и материалы

Устройства управления перемещениями от компании ACS Motion Control обеспечивают субнанометровое разрешение

Фото контроллера SPiiPlusPCI с сайта prod1.si-sv1740.com

Обеспечивая субнанометровое разрешение при позиционировании без негативного влияния на скорость, многоосевые устройства управления перемещениями SPiiPlus и MC4U от компании ACS Motion Control имеют sin/cos датчик положения с мультипликатором, который обеспечивает точное позиционирование и высокую разрешающую способность с одновременным уменьшением джиттера и времени установления сигнала.

Этот датчик имеет дифференциальные входы 1Vptp, которые используют максимальный теоретический коэффициент умножения, равный 65536, что позволяет достигнуть высокой разрешающей способности, необходимых для удовлетворения современных требований к перемещению. При входной частоте до 2,5 Мгц, максимально достижимая скорость не зависит от выбранного коэффициента умножения, что позволяет использовать лазерные датчики обратной связи с ультравысоким разрешением.

«Когда требуется нанометровое разрешение по оси, OEM-производители вынуждены использовать дорогие системы обратной связи на основе лазерных интерферометров. Благодаря нашему встроенному sin/cos датчику положения с мультипликатором SPiiPlus, пользователи теперь имеют гораздо менее дорогую альтернативу – использовать решение на основе аналоговых sin/cos-датчиков», – сказал Эван Рид (Evan Reed), вице-президент компании ACS.

Устройства управления перемещениями SPiiPlus PCI и линейные двигатели тестировалист в составе высокопроизводительного координатного стола для проведения инспекции полупроводниковых пластин при разрешающей способности sin/cos-датчика, равной 4 нм (250 линий на мм). Используя коэффициент умножения, равный 8192, инженеры компании ACS измерили джиттер на ±2 отсчетах датчика – он оказался равным ~1 нм. При этой высокой разрешающей способности была достигнута скорость до 1 м/с.

Информация с сайта www.global-electronics.net.