Информационный портал по технологиям производства электроники
Носители для обработки пластин малых диаметров - ЭЛИНФОРМ
На главную страницу Обратная связь Карта сайта

Авторизация

Главная » Новости » Новое оборудование и материалы » Носители для обработки пластин малых диаметров

Новое оборудование и материалы

07 февраля 2018

Носители для обработки пластин малых диаметров

Компания Plan Optik AG запустила производство пластин-носителей, которые позволяют проводить манипуляции с пластинами малых диаметров и подложками нестандартных размеров.

Диаметр пластин в полупроводниковой индустрии постоянно увеличивается, но не каждая компания может позволить себе иметь технологическое оборудование либо специальную оснастку для пластин разного диаметра или подложек с нестандартными размерами.

В пластинах-носителях Plan Optik сформированы специальные карманы для размещения пластин меньшего диаметра и проведения их по технологическому маршруту. Это даёт пользователю возможность держать и обрабатывать множество пластин разных диаметров и размеров на имеющемся оборудовании. Пластины-носители могут быть изготовлены либо из монокристаллического кремния со сформированными карманами, либо из колец боросиликатного стекла, приращенного к пластине кремния. Сформированные таким образом карманы в пластинах стандартного диаметра позволяют обрабатывать, например, пластины 150 мм на оборудовании для 200 мм или одновременно несколько пластин диаметром 50,8 мм на оборудовании для 150 мм.

Материалы, из которых изготовлены пластины, позволяют использовать их в процессах с температурами до 500 °C. В качестве дополнительных элементов на пластинах могут быть сформированы отверстия или канавки, например, для вакуумной фиксации на технологическом оборудовании.

Информация с сайта ostec-materials.ru


Оцените материал

Оценка полезности информации:
Оценка полноты информации:  
Оценка изложения информации:  
Комментарий:  
 



Последние новости

АРПЭ провела практическую конференцию "Экспорт российской электроники"
подробнее
Портфельная компания РОСНАНО «РСТ-Инвент» разработала RFID-метки нового поколения WinnyTag Duo
подробнее
Научно-технический семинар «Электромагнитная совместимость. Испытательные комплексы для сертификационных и предварительных испытаний военного, авиационного и гражданского оборудования»
подробнее
Официальное представительство Корпорации Microsemi примет участие в выставке «ЭкспоЭлектроника» 2018
подробнее
Новое оборудование в Технопарке Зубово
подробнее
Избраны органы управления Технологической платформы «СВЧ технологии»
подробнее
«Рязанский Радиозавод» внедряет инструменты бережливого производства
подробнее
© “Элинформ” 2007-2018.
Информационный портал для производителей электроники:
монтаж печатных плат, бессвинцовые технологии, поверхностный монтаж, производство электроники, автоматизация производства