Новости технологии

Компании Oxford Instruments и NIL Technology представляют процесс травления для нанопечатной литографии

Компании Oxford Instruments и NIL Technology объединились для разработки процесса травления, предназначенного специально для нанопечатной литографии. Нанопечатная литография – универсальный, недорогой, гибкий и высокопроизводительный метод изготовления структур размером порядка 10 нм – имеет широкий круг применений, например, в хранении информации, оптических устройствах и биодатчиках.

Сотрудничество позволило объединить специальные знания в области разработки процессов плазменного травления компании Oxford Instruments и опыт компании NIL Technology в разработке и поставке шаблонов, матриц и техпроцессов для нанопечатной литографии. Вместе компании разработали процессы для вытравливания нанопечатных матриц в кварцевом стекле, удаления остатков нанесенного полимера при исчезающе малой потере в критическом размере и травления конечной структуры.

Разработка процесса травления проводилась с использованием устройства индуктивно сопряженной плазмы Plasmalab System100 компании Oxford Instruments. Компания заявила, что травление индуктивно сопряженной плазмой показало очень хорошие характеристики травления высококачественных нанопечатных матриц с точно выполняемыми профилями. Стабильный процесс удаления остатков, выполняемый при низком давлении, стал возможным благодаря тому, что индуктивно сопряженная плазма эффективно удаляет остатки полимера после печати с минимальной потерей в критическом размере. Также индуктивно сопряженная плазма хорошо подходит для переноса печатного рисунка на кварцевое стекло и кремний.

«Мы видели возможность совместной работы компаний NIL Technology и Oxford Instruments для разработки процессов, оптимизированных для сквозного технологического процесса в большей мере, чем для отдельных операций, – сказал Брайан Биленберг (Brian Bilenberg), Технический директор компании NIL Technology. – Поскольку мы продолжаем работу, мы рассчитываем еще сильнее улучшить весь процесс травления при изготовлении наноструктур нанопечатной литографией».

Информация с сайта www.smalltimes.com