Новое оборудование и материалы

Компания SUSS MicroTec выпускает первое в мире решение для контроля 3D-структур на пластинах 300 мм

Фото с сайта www.suss.com

]Компания SUSS MicroTec, один из ведущих поставщиков решений в области контроля для полупроводниковой отрасли и связанных с ней рынков, объявила о выпуске установки зондового контроля PA300PS 3D, нацеленной на обеспечение 3D-интеграции и предназначенной для электрического зондового контроля штабелированных 3D-структур на уровне 300-мм полупроводниковой пластины. Эта гибкая установка позволяет выполнять различные инженерные и контрольные испытания после производства пластины, а также перед последующими этапами штабелирования кристаллов или окончательного корпусирования. Выпуском этой установки компания SUSS MicroTec дополняет свою линейку установок для сварки пластин и литографического оборудования для 3D-интеграции.

Новая установка PA300PS 3D, как утверждает производитель, отвечает важнейшим требованиям в области контроля благодаря MicroAlign™ – специальной функции совмещения для технологии вертикальных зондовых плат, автоматической регулировке температуры Automated Thermal Management (ATM™) – системе активной термокомпенсации при различных температурах проведения контроля, а также уникальной механической устойчивости держателя, что дает возможность выполнять высокопроизводительные тесты компании SUSS MicroTec в условиях трехмерного контроля. Функциональность системы позволяет работать в широком диапазоне температур, а также с помощью технологии ProbeShield осуществлять сбор данных в условиях слабых сигналов с одновременной защитой от электромагнитных помех. Применение вертикальных зондовых плат с большим количеством зондов в сочетании с технологией MicroAlign™ обеспечивает отсутствие повреждений при установке зондов на маленькие контактные площадки, а также минимизирует размеры отметок от зондов на площадках.

Разрешение на уровне микрометров гарантируется новой разработкой – координатным столиком держателя с перемещением по осям Z и θ, с помощью которого достигается высокая тепловая и механическая устойчивость, что дает высокую точность, малое смещение и максимальную жесткость при высоких усилиях зондового контроля. Система термокомпенсации держателя совместно с настраиваемым расположением по высоте зондовой платы обеспечивают высокую плоскостность и самую быструю компенсацию температуры на рынке, что дополнительно поддерживает высокую эффективность контроля. Максимальная безопасность и эффективность работы в модели PA300PS 3D дополнительно обеспечивается с помощью технологии ContactView™ и визуализации с помощью микроскопа iVista™ всех выполняемых задач в трехмерных приложениях.

Более подробная информация – на сайте производителя, компании SUSS MicroTec: www.suss.com.

Информация с сайта www.globalsmt.net.