Новости технологии

Установка для автоматической инспекции сращенных полупроводниковых пластин от компании Sonoscan

Фото с сайта www.globalsmt.net

Компания Sonoscan представила систему формирования акустических микроизображений C-SAM® серии AW200™, которая проводит автоматическую инспекцию, анализ и сортировку сращенных полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм.

Чтобы избежать погружения пары сращенных полупроводниковых пластин в воду – метод, который может маскировать дефекты – система AW200 проводит формирование изображений пар полупроводниковых пластин с помощью запатентованного датчика Waterfall™, разработанного компанией Sonoscan. После формирования изображений пара полупроводниковых пластин автоматически высушивается.

В системе AW200 применены высокочастотные датчики, разработанные компанией Sonoscan, которые в состоянии обнаружить пустоты диаметром 5 мкм и толщиной 0,02 мкм внутри полупроводниковой пластины. Датчик производит сканирование пластины на такой же высокой скорости, как и прочие инструменты C-SAM, что, по словам производителя, обеспечивает наивысшую производительность операции сканирования в отрасли. Применение двух высокоточных роботизированных рук для манипулирования парами пластин позволяет обеспечить еще бо́льшую производительность.

С помощью автоматизированного анализа акустической информации безошибочно определяются соединенные/несоединенные области пластин, количество и размер пустот, целостность герметизации корпусов нулевого уровня, а также статус пары полупроводниковых пластин «годен/не годен» в соответствии с пользовательским критерием.

Более подробная информация – на сайте производителя, компании Sonoscan: www.sonoscan.com.

Информация с сайта www.globalsmt.net.