Новости практической технологии

Контроль герметичности уплотнений МЭМС-устройств

Изображение с сайта www.ostec-micro.ru

Лидер в области производства оборудования для акустической микроскопии, компания Sonoscan, представила программное обеспечение для обнаружения дефектов в уплотнениях, окружающих полости внутри МЭМС-устройств и защищающие их от внешнего воздействия.

Акустическое изображение пустот (слева) и разрыва уплотнения (справа) в МЭМС-устройстве до резки пластины.

Пустоты, показанные на рис.1, являются наиболее часто встречаемыми дефектами в уплотнениях, которые бывают металлическими или полимерными в зависимости от требуемой степени герметичности. Также встречаются разрывы, представленные на рис.2. Расслоение уплотнений, возникающее при производстве в результате загрязнений, является еще одним частым дефектом.

Эти дефекты опасны тем, что при воздействии механических и термических воздействий область дефекта разрастается и приводит к нарушению герметичности уплотнения и в последующем - к изменению требуемых параметров газовой среды внутри полости. Уплотнения предохраняют устройство от внешних частиц, газов и влажности. Например, влажность может стать причиной ухудшения работоспособности подвижных частей внутри полости.

Размеры дефектов могут быть всего несколько десятков микрон в диаметре и толщиной меньше микрона, однако все они отображаются системами C-SAM®, способной улавливать трещины, отражающие >99.99% ультразвуковых импульсов ОВЧ/УВЧ диапазона.

При производстве МЭМС можно выборочно просканировать образцы с помощью системы C-SAM, чтобы убедиться, что параметры техпроцесса не допускают образования пустот. Там, где требуется высокая надежность (аэрокосмические или медицинские МЭМС-устройства), есть возможность стопроцентного контроля образцов.

Информация с сайта www.ostec-micro.ru.