Новости практической технологии

Компания EV Group представляет технологию наноимпринтной литографии мягким УФ-излучением

Компания EV Group предлагает новую технологию наноимпринтной литографии молекулярного уровня с использованием мягких штампов, позволяющую формировать масочные структуры со сверхвысокой разрешающей способностью, достигающей значений в 12,5 нм. Данная технология позволяет с высокой повторяемостью формировать рисунок на больших площадях. Используя мягкие штампы, в новой технологии можно осуществлять УФ-наноимпринтную фотолитографию на уже существующем оборудовании EVG.

Микроконтактную печать и УФ-наноимпринтную фотолитографию можно проводить на прежних системах, нет необходимости внедрять новые технологические процессы, что позволяет сохранить драгоценное время и средства.

УФ-наноимпринтная фотолитогрфия позволяет получать более дешевые, в сравнении с другими методами наноструктурирования, решения для создания КМОП фотоприемников, формирования микролинз и других микрооптических применений. В наноимпринтной литографии молекулярного уровня мягким УФ-излучением вместо использования дорогих жестких керамических штамп-шаблонов используются мягкие силиконовые штамп-шаблоны для изготовления рабочих штампов. Свойства материала, из которого изготавливаются рабочие штампы, позволяют снизить риск механического повреждения штамп-шаблонов, увеличивая тем самым срок их службы. Низкая адгезия к фоторезисту, а также гибкость рабочих штампов позволяют легко отделять их от подложки после процесса экспонирования, а затем повторно использовать.

Джеральд Крайндл (Gerald Kreindl), менеджер по оборудованию наноимпринтной литографии EV Group: «Технология наноимпринтной литографии молекулярного уровня мягким УФ-излучением – это кульминация наших усилий по созданию масочных структур с высокой степенью разрешающей способности и высокой повторяемостью процесса. Применение данной технологии позволит достичь эффективных решений для Вашего производства».

Компания EV Group и ЗАО Предприятие Остек предлагают две возможные к приобретению опции для наноимпринтной литографии молекулярного уровня мягким УФ-излучением. Клиенты, заинтересованные в собственном производстве рабочих штампов, могут получить консультации специалистов EV Group по технологии этого производства.

Новая технология совместима с системами EVG620, EVG6200, IQ Aligner и EVG770.

Информация с сайта ostec-group.ru.