Новое оборудование и материалы

Компания Sonoscan начала поставки установок электронно-лучевой литографии для формирования интегральных схем

Фото с сайта ostec-group.ru

Компания Sonoscan объявила о начале поставок автоматизированных систем контроля 300-мм склеенных пластин, позволяющих сканировать одновременно две пластины.

Система осуществляет контроль пластин, предназначенных для SOI, MEMS и других приложений для 300-мм и 200-мм пластин, выявляя нарушения связи, расслаивание, пустоты и частицы на прослойке, а также трещины любой глубины.

Манипулятор подает пластины в два загрузочных отверстия, принимающие кассеты FOUP или FSOB. Пластины подаются в один из двух сканнеров. Для обеспечения максимальной производительности пластины подаются в область подготовки, где они обрабатываются и помещаются на временное хранение.

Информация с сайта ostec-group.ru.