Новое оборудование и материалы

Компания Nordson ASYMTEK представляет новую производственную ячейку для автоматизированного дозирования на пластины, установленные на рамках с использованием пленочного носителя

Фото с сайта www.nordson.com

Компания Nordson ASYMTEK, специализирующаяся в области дозирования, нанесения покрытия и струйных технологий, представляет новую автоматизированную производственную ячейку для обработки пластин, установленных на рамках с использованием пленочного носителя. Эта ячейка хорошо подойдет заказчикам, которые хотят приобрести оборудование для дозирования и манипулирования у одного поставщика, и ищут вариант с меньшей стоимостью владения, чем у традиционных решений в области манипулирования полупроводниковыми пластинами.

Новая ячейка – автомат односторонней загрузки-выгрузки MH-910W, интегрированный с системой дозирования Spectrum™ S-920N – предназначена для обработки 150-мм пластин, установленных на рамках с использованием пленочного носителя, но при этом достаточно гибка для работы с различными размерами пластин. Она может применяться для нанесения защитного слоя на МЭМС/датчики изображения, покрытия пластин для устройств формирования изображения, таких как цифровые микрозеркальные устройства (DLP), струйного дозирования реагентов для биочипов в медико-биологических задачах и струйного нанесения тонких покрытий перед лазерной резкой, чтобы уменьшить количество пыли и загрязнений, вызванных процессом абляции при резке.

Односторонней устройство загрузки-разгрузки MH-910W обеспечивает настраиваемую скорость транспортировки, увеличивая производительность, в то время как множество сенсоров и активные прижимные ролики обеспечивают безопасность манипулирования. Пластины, установленные на рамках с использованием пленочного носителя, вытягиваются из одной кассеты и возвращаются в другую после дозирования. Наличие датчика, отмечающего следующую доступную пластину, существенно снижает время поиска для частично заполненных кассет. В процессе загрузки пластины осторожно вытягиваются из кассеты и транспортируются с помощью мягкого захвата и активных прижимных роликов. Датчики также используются для подтверждения того, что слоты кассеты пусты, прежде чем вернуть обработанные пластины во вторую кассету.

Ячейка имеет небольшие размеры, примерно 1225 x 1321 мм, и соответствует стандартам и сертификациям SEMI-S2, SEMI-S8, SMEMA и CE.

По материалам www.nordson.com.