Новое оборудование и материалы

Бесконтактный инфракрасный измеритель толщины пластин

Фото с сайта globalsmt.net

Измерение толщины полупроводниковой подложки и глубины глухих отверстий в процессе изготовления — обычная процедура в полупроводниковом производстве. Компания Armstrong Optical Ltd из Нортгемптона (Великобритания) предлагает высокоточный бесконтактный датчик, позволяющий измерять толщину пластин из кремния или другого полупроводникового материала – как легированных, так и нелегированных.

Сенсорная система CHRocodile IT основывается на использовании лазерного диода и позволяет измерять толщины в диапазоне от 18 мкм до 3 мм (в воздухе), обеспечивая при этом разрешение не меньше 60 нм (для кремния). Система CHRocodile IT подходит для проведения измерений в составе производственной линии, он обладает высокой частотой опроса в 4 КГц, способностью работать в вакууме, а его показания не зависят от температуры и влажности, что делает его пригодным для множества промышленных применений. Маленькая (<20 мм в диаметре и <50 мм в длину), легко встраиваемая головка датчика содержит в себе пассивную систему линз без движущихся частей или электронных компонентов и присоединяется к контроллеру при помощи оптоволоконного кабеля, делая результаты измерения нечувствительными к помехам от электронного оборудования. Система CHRocodile IT также подходит для многослойных систем и в конфигурации для мультиканального анализа может содержать в себе вплоть до пяти головок датчиков.

Система CHRocodile IT и другие сенсорные системы производятся компанией Precitec GmbH и предлагаются партнером в Великобритании, компанией Armstrong Optical Ltd, осуществляющей также техническую поддержку и консультации по готовым к эксплуатации, полностью интегрированным решениям для промышленных измерений.

Более подробная информация на сайте поставщика, компании Armstrong Optical Ltd: www.armstrongoptical.co.uk.

По материалам globalsmt.net.