Новости перспективных технологий

Усовершенствована методика трафаретной литографии

Изображение с сайта science.compulenta.ru

Учёные из Федеральной политехнической школы Лозанны (Швейцария) продемонстрировали удобный и простой метод динамической трафаретной литографии.

Традиционную трафаретную литографию уже давно применяют для создания нанометровых структур на кремнии или гибком пластике. Легко догадаться, что над подложкой в этом случае закрепляют трафарет с заранее выполненными отверстиями нужного размера — и металл при распылении проникает в эти вырезы и оседает на определённых участках подложки, формируя заданный рисунок.

Швейцарцы развивают чуть усложнённый динамический вариант метода, отличающийся тем, что трафарет передвигается в процессе напыления. «Это позволяет создавать различные двумерные рисунки в одной технологической операции, — замечает участница исследования Вероника Саву (Veronica Savu). — В наших новых экспериментах мы доказали, что метод применим на стандартных 100-миллиметровых подложках и подходит для изготовления субмикрометровых структур. Конечно, ничего радикально нового в динамической литографии нет, но до нас никто не добивался таких результатов».

Сравнение трафаретной литографии и «обычной» литографической методики. Первый этап процесса — металлизация — оказывается общим, но трафаретная технология даёт результат гораздо быстрее. (Иллюстрация авторов работы.)

По мнению руководителя группы Юргена Брюггера (Juergen Brugger), динамическая литография должна потеснить более сложные и затратные методики, основанные на использовании резиста. «В ближайшем будущем мы испытаем технологию на практике, — делится планами г-жа Саву. — Наша цель — создание полнофункциональных транзисторов на графене или нанопроводах».

Полная версия отчёта опубликована в журнале Nanoscale.

Информация с сайта science.compulenta.ru со ссылкой на материалы Федеральной политехнической школы Лозанны.

Автор оригинального текста: Дмитрий Сафин.