Новое оборудование и материалы

Компания RASIRC представляет новую установку Steamer Turbo

Изображение с сайта globalsmt.net

Компания RASIRC^®, специализирующаяся в области паровой очистки, анонсирует новую установку Steamer Turbo, предназначенную для применения в полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности. Это первая система паровой очистки компании RASIRC, оснащенная встроенным контролем смешивания газов, позволяющим решить проблему конденсации, возникающую при смешивании пара со сжатыми газами. Система обеспечивает высокую скорость потока пара, совмещенного с азотом или кислородом, что обеспечивает равномерность оксидных пленок. Продукция RASIRC может использоваться для подачи сверхчистого водяного пара в полупроводниковой промышленности, фотоэлектронике, нанотехнологических и других промышленных применениях.

Для множества полупроводниковых и фотоэлектронных производств требуется подача водяного пара, смешанного с азотом или кислородом. Во избежание конденсации, газы должны быть нагреты до точки росы пара, минимум 80°С или выше, в случае задач, требующих подведения большей энергии к подложке для контакта. Без строгого контроля температуры газа есть большая вероятность того, что произойдет преждевременная конденсация, способная вызвать загрязнение поверхности или неравномерность нанесения пленки. Система Steamer Turbo решает проблему за счет встроенной системы контроля сжатого газа, способную обеспечивать подачу со скоростью до 100 литров в минуту, при температуре 120°С. Система контроля включает контроллер потока, регулятор, фильтр и встроенный нагреватель газа. Сильная связь между нагревателем газа и каналом подачи очищенного пара обеспечивает чистоту и предотвращает конденсацию.

Сочетание патентованной технологии очистки пара компании RASIRC с генерацией пара под сверхвысоким давлением и горячим сжатым газом позволяет подвести к подложке энергию и сверхчистую воду, путем конденсации на подложке. Включение горячего сжатого газа обеспечивает перемещение пара от подложки. Это позволяет применять новые способы очистки, невозможные ранее.

Более подробная информация на сайте rasirc.com.

По материалам globalsmt.net.