Новости технологии
05 марта 2008
Компания SUSS MicroTec предлагает набор средств для перехода на нанотехнологии
Компания SUSS MicroTec, поставщик передовых решений для трехмерных систем, MEMS, современных методов корпусирования и нанотехнологий, выпустила набор средств для устройств совмещения масок, предназначенный для применения в нанотехнологических процессах. Новые средства для нанопечатной литографии позволяют установкам совмещения компании SUSS выполнять нанесение печатным способом резиста толщиной от менее чем 100 нм до нескольких сотен микрометров с разрешением до нескольких нанометров.
Ультрафиолетовая нанопечатная литография (UV-NIL) представляет собой недорогую технологию, основанную на отверждении при воздействии ультрафиолета. Она была разработана в качестве более дешевой альтернативы электронно-лучевой литографии высокого разрешения для формирования геометрических элементов размерами менее 20 нм. Перспективные применения технологии UV-NIL включают изготовление полупроводниковых изделий, микро-опто-электро-механических систем (MOEMS), нано-электро-механических систем (NEMS) и оптоэлектронных приборов.
С помощью данного набора средств можно с минимальными затратами модернизировать любую уже применяемую установку совмещения MA6 компании SUSS. Так компания SUSS MicroTec предлагает своим клиентам просто и быстро войти в мир нанотехнологий.
Сайт компании SUSS MicroTec: www.suss.com
Информация с сайта www.globalsmt.net
|