Новое оборудование и материалы

Установка нанесения и проявления фоторезиста RCD8

Компания SUSS MicroTec, крупный поставщик оборудования и технологических решений для полупроводниковой промышленности и сопутствующих рынков, представляет RCD8, новую ручную установку нанесения и проявления фоторезиста. Новая установка сочетает высокую гибкость применения с низкой стоимостью вложения.

По заявлению производителя, RCD8 является единственным инструментом на рынке, который может быть за считанные минуты преобразован из установки нанесения центрифугированием в установку нанесения распылением. Установка может поставляться в различных конфигурациях, в зависимости от требований заказчика, от базового ручного инструмента нанесения центрифугированием до полуавтоматической системы нанесения по технологии GYRSET^®.

Ранее различные инструменты серии Delta использовались для специализированных приложений, таких как МЭМС, современное корпусирование, производство светодиодов или исследовательские задачи. Теперь различные типы инструментов собраны воедино в установке RCD8, которая покрывает все необходимые техпроцессы, возникающие в данных приложениях.

В качестве дополнительной опции возможна интеграция патентованной технологии нанесения покрытия центрифугированием GYRSET^®. Применительно ко многим приложениям и видам фоторезиста, данная технология обеспечивает более широкое окно техпроцесса и значительно снижает расход материала. Кроме того, данная технология позволяет наносить фоторезист даже на прямоугольные подложки, при равной толщине фоторезиста по всей поверхности, включая углы.

По материалам suss.com.