Новое оборудование и материалы

Расширение горизонтов производства трехмерных КМОП-матриц

Изображение с сайта www.globalsmt.net

Компания EV Group (EVG) представила свою новейшую версию автоматизированной измерительной системы EVG®40NT, предназначенной для совместной работы с системой присоединения полупроводниковых пластин GEMINI® FB для производства следующего поколения трехмерных КМОП-матриц. Система измерений EVG®40NT позволяет определять качество совмещения полупроводниковых пластин с точностью 40 нм (при 3σ), а совместная работа ПО систем обеспечивает управление процессом присоединения с обратной связью, что позволяет производить микросхемы по технологии TSV (с формированием переходных отверстий в кремнии, through-silicon vias) с очень малым шагом между выводами (менее двух микрон). Высокие технические характеристики разработанных систем позволяют надеяться на ускорение трехмерной интеграции и других типов микросхем, например памяти.

По материалам www.globalsmt.net со ссылкой на www.evgroup.com.