Новое оборудование и материалы

Новая серия компактных турбомолекулярных насосов

Изображение с сайта www.globalsmt.net

Компания Shimadzu выпускает новую серию компактных турбомолекулярных насосов с встроенной системой питания, предназначенных для создания вакуума при производстве полупроводников и плоскоэкранных дисплеев.

Новая серия TMP-X обеспечивает снижение затрат на электроэнергию и обладает уменьшенной высотой при сохранении высоких технических характеристик установок. Скорость откачки может достигать 3000 л/с. Турбомолекулярные насосы серии  TMP-X обеспечивают создание чистого безмаслянного высокого вакуума, что при производстве полупроводников и плоскоэкранных дисплеев является необходимостью. Насосы серии TMP-X могут применяться в процессах распыления и травления.  

По материалам www.globalsmt.net с ссылкой на www.shimadzu.com.