Новое оборудование и материалы

Новая система инспекции макродефектов полупроводников

Изображение с сайта www.globalsmt.net

Компания Rudolph Technologies представляет новую систему автоматизированной инспекции макродефектов NSX® 220, предназначенную для инспекции полупроводниковых кристаллов, МЭМС и светодиодов.

Система NSX 220 построена на основе системы NSX 320 и позволяет проводить инспекцию полупроводниковых пластин диаметром до 300 мм (система NSX 320 — до 450 мм). При этом система NSX 220 нацелена на применение на последних этапах производства полупроводников, где не требуется полный набор возможностей инспекции, обеспечиваемый системой NSX 320.

В системе NSX 220 осуществляется анализ полутоновых изображений (с выводом полноцветных изображений). Среди обнаруживаемых системой NSX 220 дефектов — царапины, механические повреждения, присутствие инородных материалов и др. Также есть возможность осуществлять двухмерные измерения столбиковых выводов, тестовых меток и параметров обработки кромки. Разрешение системы 10мкм — 0,5 мкм. Подсветка — яркая в базовой комплектации и, опционально, затемненная.

Улучшенное ПО Discover® Software, общее для всех систем инспекции компании Rudolph Technologies, позволяет объединять установки инспекции NSX 220 в сеть для передачи данных.

По материалам www.globalsmt.net с ссылкой на www.rudolphtech.com.